采用微型加工工艺和特种功能材料制造高可靠性的各类传感器，可用于速度、位移、角度、运动等参量的自动监测和控制。

   采用微型加工工艺开发轻薄型袖珍燃料电池。

   采用磁控等离子体沉积工艺制备大面积薄膜太阳能电池，具有制造成本低，光电转换效率高等特点。

   采用碳纳米纤维复合薄膜为电极所制备的阴阳离子吸附和存储器件具有离子吸附效率高、功耗低，可重复使用等特点，可用于低能耗污水处理、纯水制备、海水淡化等应用。

   采用高密度等离子体表面清洗、镀膜工艺，以及材料性能的优化，可进行光学、电学、机械、力学等各种功能的薄膜制备技术应用，包括精密机械与刀具镀膜、包装及装饰材料镀膜、光学元器件镀膜、医疗器械镀膜等。